全面解析MEMS慣性器件-寧波麥思電子科技有限公司

慣性器件包括加速度計和陀螺，其中加速度計是用來測量運動體的加速度，陀螺用來測量運動體的角速度。加速度計和陀螺可以單獨使用，也可以組合使用。

慣性測量組合是指用多個加速度計和陀螺組成能夠測量運動體沿互相正交的三個方向的加速度與角速度，并通過數值解算，可以獲得運動體的姿態、速度和位移信息。由于慣性測量組合可以在沒有外界參考信息的條件下進行，所以是運動體的導航、制導與控制中不可缺少的測量裝置。

MEMS慣性器件是指敏感結構用微加工手段加工的加速度計和陀螺。MEMS慣性器件敏感結構所使用的材料主要是石英和硅，所采用的微加工工藝主要包括濕法刻蝕（氫氟酸或氫氧化鉀）和等離子體干法刻蝕。微加工工藝加工的微型敏感結構具有體積小、抗過載能力強的特點；另外，微加工特別是硅微加工屬于批量加工，成本低，因此MEMS慣性器件和系統的研究成為慣性技術研究的一個熱點和重要的發展方向。

國際上硅MEMS慣性器件的研究興起于20世紀80年代末、90年代初，世界范圍內眾多的大學、研究所和公司投入了這場研究熱潮。石英微慣性器件的研究開始得更早。美國軍方也支持了很多MEMS慣性器件和系統的研究與應用項目。到20世紀初，歐美發達國家已經有公司開始生產可用于汽車或軍事MEMS慣性器件和系統。但目前在軍事上尚沒有普通應用。

MEMS慣性器件的研究內容主要包括敏感結構設計、微加工工藝、信號檢測電路、器件的環境適應性、信號處理和誤差補償算法和封裝技術等。微加工工藝的完善和穩定是MEMS慣性器件研究和性能提高的基礎。國內有的研究單位已經開始了MEMS慣性器件和系統工程化技術的研究和小批量試制。

MEMS慣性器件和系統在軍事上的應用領域相當廣泛。如幾乎所有的戰術導彈上都可以采用MEMS慣性系統用于導航、制導和控制:常規非制導武器如炸彈、火箭彈上可以采用MEMS慣性系統，提高命中精度；在車輛和飛行器上甚至單兵也可以裝備，用于導航和控制；還可用于炸彈的引信等。

MEMS慣性器件和系統的發展趨勢主要特點是集成化?！凹苫钡暮x包括在單一芯片上集成多個感結構，也包括信號處理電路的集成、敏感結構與電路的集成、多個傳感器及其電路的集成。另外，MEMS性系統與衛星導航系統的組合將成為未來戰術級導航系統的主流。

高性能慣性姿態傳感器，打造無人機強大功能

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全面解析MEMS慣性器件

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2020/2/12 15:10:00